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Magnetron sputtering (磁控濺射臺))

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  • MRC ECLIPSE Sputtering System
    MRC
    ECLIPSE

    ECLIPSE

    3 chambers sputter
  • NOVELLUSC1ND-107
    CVD
    Novellus

    C1

    3 PHASE
  • NOVELLUSC1ND-111
    CVD
    Novellus

    C1

    3 PHASE
  • 勻膠機Coater ZPCOT003
    Coater
    ZPCO

    T003

    coater modules
  • 光刻顯影機Developer ZPDET003
    Lithography
    ZPDE

    T003

    developer modules
  • KDF943i
    MRC
    KDF

    KDF943i

    Double chamber
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