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常熟Aviza/Spts

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詳細介紹

Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration information:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply

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所屬分類：常熟刻蝕機Etcher